無塵室(Clean Room)
，亦稱爲潔淨室或清淨室
。它是污染控制的基礎
。控制空氣懸浮微粒濃度
，從而達到適當的微粒潔淨度級別
。無塵室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除
，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內
，而所給予特別設計之房間
。也就是不論外在空氣條件如何變化
，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫溼度及壓力等性能的特性
。
無塵室能除去空氣中飄遊之微塵粒子；防止微塵粒子之產生；調節壓力和照明度
，控制溫度和溼度
，排除有害氣體
，保證結構物與隔間之氣密性；防制靜電；電磁幹擾預防；安全因素之考慮；節能之考量
，等等
。

無塵室最主要之作用在於控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫溼度
，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造
，此空間我們稱之爲無塵室
。按照國際慣例
，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定
。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵
，而是控制在一個非常微量的單位上
。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微
，但是對於光學構造而言
，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響
，所以在光學構造產品的生產上
，無塵是必然的要求
。

無塵室最主要之作用在於控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫溼度
，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造
，此空間我們稱之爲無塵室
。按照國際慣例
，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定
。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵
，而是控制在一個非常微量的單位上
。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微
，但是對於光學構造而言
，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響
，所以在光學構造產品的生產上
，無塵是必然的要求
。

1.亂流式(Turbulent Flow)

空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室
，並由無塵室兩側隔間牆板或高架地板回風
。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態
。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣
，將污染空氣逐漸稀釋
，來實現潔淨的
。換氣次數決定淨化級別(換氣次數越多
，淨化級別越高)
。此型式適用於無塵室等級1,000-100,000級
。

• 優點：構造簡單、系統建造成本
  ，無塵室之擴充比較容易
  ，在某些特殊用途場 所
  ，可並用無塵工作臺
  ，提高無塵室等級
  。
• 缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出
  ，易污染制程產品
  。另外 若系統停止運轉再激活
  ，欲達需求之潔淨度
  ，往往須耗時相當長一段時 間
  。

2.層流式(Laminar)

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形
，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內
，並由高架地板或兩側隔牆板回風
，此型式適用於無塵室等級需定較高之環境使用
，一般其無塵室等級爲Class 1~100
。其型式可分爲二種:

（1）水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出
，由對邊牆壁之回風系統回風
，塵埃隨風向排出室外
，一般在下流側污染較嚴重
。

• 優點：構造簡單
  ，運轉後短時間內即可變成穩定
  。

（2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋
，空氣由上往下吹
，可得較高之潔淨度
，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域
。

• 優點：管理容易
  ，運轉開始短時間內即可達穩定狀態
  ，不易爲作業狀態或作業 人員所影響
  。
• 缺點：構造費用較高
  ，彈性運用空間困難
  ，天花板之吊架相當佔空間
  ，維修更 換過濾器較麻煩
  。

3.復合式(Mixed Type)

復合式爲將亂流式及層流式予以復合或並用
，可提供局部超潔淨之空氣
。

⑴潔淨隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上
，可節省安裝運轉費用
。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離
，以避免機器維修時影響了工作及品質
，ULSI制程大都採用此種型式
。 潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行
。

⑵潔淨管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍並 淨化處理
，將潔淨度等級提至100級以上
。因產品和作業員及發塵環境相互隔離
，少量之送風即可得到良好之潔淨度
，可節省能源
，不需人工的自動化生產線爲最適宜使用
。藥品、食品業界及半導體業界均適用
。

⑶並裝局部無塵室(Clean Spot)：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔淨度等級提高爲10~1000級以上
，以爲生產之用;潔淨工作臺、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類
。